[发明专利]成膜装置在审
| 申请号： | 202011572989.5 | 申请日： | 2020-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN113046701A | 公开（公告）日： | 2021-06-29 |
| 发明（设计）人： | 北见尚久;山本哲也 | 申请（专利权）人： | 住友重机械工业株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54;C23C14/32;C23C16/50;C23C16/52 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 夏斌 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种成膜装置，为了得到所希望的膜而能够在更适当的条件下进行成膜。成膜装置(1)中，监视部(52)能够监视用于形成规定物质的膜的粒子的能量分布中的多个特征部(FP1、FP2、FP3)的能量。监视部(52)并非监视能量分布的单个特征部(例如仅监视特征部(FP3)等)而是监视多个特征部(FP1、FP2、FP3)的能量，由此能够更准确地掌握能量分布的状况。因此，成膜控制部(54)能够在准确地掌握能量分布的状况的基础上，调整用于得到所希望的膜的成膜条件。根据以上所述，为了得到所希望的膜而能够在更适当的条件下进行成膜。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
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