[发明专利]一种基于相变材料的开关式的光波导器件及制作方法在审
| 申请号： | 202011575703.9 | 申请日： | 2020-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN112649999A | 公开（公告）日： | 2021-04-13 |
| 发明（设计）人： | 郑分刚;张桂菊;王锐;吕元帅 | 申请（专利权）人： | 上海交大平湖智能光电研究院;苏州大学 |
| 主分类号： | G02F1/313 | 分类号： | G02F1/313 |
| 代理公司： | 苏州吴韵知识产权代理事务所(普通合伙) 32364 | 代理人： | 朱亮 |
| 地址： | 314200 浙江省嘉兴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于相变材料的开关式的光波导器件，包括光栅结构、光学薄膜增强层、脊结构、薄膜结构与衬底结构，所述衬底结构上设置有薄膜结构，所述薄膜结构上面中部设置有脊结构，所述脊结构设置有光学薄膜增强层，所述光学薄膜增强层上设置有光栅结构，所述光波导器件的一端面由模式波入射，经过波导后，在光波导器件的另一端面出射波。通过上述方式，本发明能够通过将该材料覆盖至硅波导上形成复合波导结构，切换相变材料的相态就可以切换不同状态的光信号传播，即实现了利用一种结构同时具有时分和波分复用的功能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 相变 材料 开关 波导 器件 制作方法 | ||
【主权项】：
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