[发明专利]一种真空电子器件气密性检漏的装置及方法在审
| 申请号： | 202011575711.3 | 申请日： | 2020-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN112729711A | 公开（公告）日： | 2021-04-30 |
| 发明（设计）人： | 朱校辰;李林;吴亚琴;姚建波;高峰;林晓辉 | 申请（专利权）人： | 南京三乐集团有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/20 | 分类号： | G01M3/20 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 陆志斌 |
| 地址： | 210009 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及气密性检漏的装置及工艺技术领域，且公开了一种真空电子器件气密性检漏的装置及方法，包括支撑架，所述压力系统、支架系统、密封系统、辅助机构系统和平板，所述支架系统包括顶板、立柱和底板，所述密封系统包括密封框和密封门，所述辅助机构系统包括手动施压装置和自动施压装置。该真空电子器件气密性检漏的装置及方法，提高了装置的应用范围，然后将工件放置在真空橡皮垫中心，采用可调节压力系统向工件施加压力的方式，辅助以真空橡皮垫，实现真空电子器件的密封，避免了真空电子器件被污染，保证工件放置稳固，辅助机构系统防止微小、薄壁及细长工件的受压变形。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 电子器件 气密性 检漏 装置 方法 | ||
【主权项】：
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