[发明专利]一种基于静电力显微镜的宽频电学检测方法、系统和可读介质有效
| 申请号： | 202011576692.6 | 申请日： | 2020-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN112782231B | 公开（公告）日： | 2022-07-12 |
| 发明（设计）人： | 许瑞;程志海;庞斐;季威 | 申请（专利权）人： | 中国人民大学 |
| 主分类号： | G01N27/00 | 分类号： | G01N27/00 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 赵悦 |
| 地址： | 100872 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于静电力显微镜的宽频电学检测方法、系统和可读介质，包括以下步骤：S1通过静电力显微镜获得待测样品的形貌，并根据形貌确定待测区域；S2将静电力显微镜的探针移动到待测区域，向探针施加第一电压和第二电压的差频电压；S3获取差频电压下探针和待测区域之间的静电力变化，根据静电力变化结合第一电压和第二电压，计算待测区域电容的空间分布信息；S4根据待测区域电容的空间分布信息计算待测区域的电学性能。其通过测量和分析EFM的针尖与样品间的静电力中的差频信号，能够快速准确的获得样品在宽频静电场中的局域电学信息。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 静电力 显微镜 宽频 电学 检测 方法 系统 可读 介质 | ||
【主权项】：
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