[发明专利]一种半导体硫化氢气体传感器在审
| 申请号： | 202011578253.9 | 申请日： | 2020-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN112611788A | 公开（公告）日： | 2021-04-06 |
| 发明（设计）人： | 陶继方;田昕 | 申请（专利权）人： | 山东大学 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 青岛华慧泽专利代理事务所(普通合伙) 37247 | 代理人： | 刘娜 |
| 地址： | 250013 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种半导体硫化氢气体传感器，包括基底和位于基底上的感应电极和参比电极，所述感应电极和参比电极分别包括两个，所述感应电极和参比电极的两端都分别连接焊盘，且两个感应电极和两个参比电极通过焊盘外接导线组成惠斯通电桥；所述感应电极和焊盘暴露在空气中，所述参比电极被绝缘层覆盖，所述感应电极为金属银材质。本发明所公开的传感器尺寸小、功耗低、成本低、检测灵敏、稳定性好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 硫化氢 气体 传感器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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