[发明专利]一种石墨舟降温方法在审
| 申请号： | 202011579772.7 | 申请日： | 2020-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN112993082A | 公开（公告）日： | 2021-06-18 |
| 发明（设计）人： | 周其斌;张政;蔡成;唐福云;杨灼坚;沙泉 | 申请（专利权）人： | 江苏润阳世纪光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L21/673;H01L21/205 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 224000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种石墨舟降温方法，在PECVD沉积炉的防护门板上直接打至少两个孔，孔内配合安装抽风风扇，抽风风扇直接将PECVD沉积炉内热气抽取排出至炉外，降低炉内温度。使用该方法可以有效的降低石墨舟温度，极大的节约降温过程的时间，从而提升电池硅片生产效率，提高了硅片良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石墨 降温 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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