[发明专利]一种抛光垫的加工装置及加工方法和由其制得的抛光垫在审
| 申请号： | 202011581971.1 | 申请日： | 2020-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN112677065A | 公开（公告）日： | 2021-04-20 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;惠宏业;王学泽;赵建军 | 申请（专利权）人： | 上海江丰平芯电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B24D18/00 | 分类号： | B24D18/00;B24B37/26 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 201400 上海市奉贤区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种抛光垫的加工装置及加工方法和由其制得的抛光垫，所述加工装置包括齿轮式刀具，可通过多排齿轮刀对抛光垫进行加工，提高了抛光垫槽加工的工作效率；利用所述加工装置的抛光垫加工方法不仅解决了插铣刀具无法进行完整切削的问题，而且所述齿轮式刀具与气体冷却相配合，可大大降低加工过程中抛光垫和刀具的温度，避免立式铣刀的熔融现象；采用所述加工方法加工制得的抛光垫可有效保障产品槽宽度和深度的一致性，平面度≤0.1mm，表面粗糙度≤6，产品外观和品质得到较大提升。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 抛光 加工 装置 方法 | ||
【主权项】：
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