[发明专利]基于传递函数的白光扫描干涉测量法高频形貌补偿方法有效
| 申请号： | 202011582418.X | 申请日： | 2020-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN112797891B | 公开（公告）日： | 2021-11-05 |
| 发明（设计）人： | 闫英;李萍;周平;安奕同;马锦伟 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02;G01B11/24;G01B11/30 |
| 代理公司： | 大连东方专利代理有限责任公司 21212 | 代理人： | 鲁保良;李洪福 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于传递函数的白光扫描干涉测量法高频形貌补偿方法，包括如下步骤：计算白光扫描干涉仪形貌测量结果的傅里叶频谱；利用幅频曲线计算得到功率谱密度曲线；对功率谱密度曲线与传递函数的平方相除进行修正，以得到修正后的功率谱密度曲线；采用逆周期图法，复原形貌。本发明利用白光干涉仪传递函数，对白光干涉仪直接测得的形貌可直接补偿各频谱信息，模拟出具有部分高频信息的白光干涉仪测量形貌。本发明利用传递函数直接对测量出来的形貌进行补偿处理，无需改变测量仪器的软硬件，补偿方法简单有效；同时提高了白光扫描干涉测量超精密表面形貌的精度和准确性，尤其是形貌轮廓和形貌粗糙度，为超精密加工的测量奠定基础。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 传递函数 白光 扫描 干涉 测量 高频 形貌 补偿 方法 | ||
【主权项】：
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