[发明专利]一种用于真空腔室的门体结构在审
| 申请号： | 202011583233.0 | 申请日： | 2020-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN112663018A | 公开（公告）日： | 2021-04-16 |
| 发明（设计）人： | 刘慧丹;陈元;缪朴;袁尧;粟坤乾 | 申请（专利权）人： | 肇庆宏旺金属实业有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/52;C23C16/54 |
| 代理公司： | 广州知顺知识产权代理事务所(普通合伙) 44401 | 代理人： | 彭志坚 |
| 地址： | 526238 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于真空腔室的门体结构，包括可活动设于真空腔室开口处的本体，所述真空腔室的外壁上位于开口上方的位置处设有安装部，所述安装部上设有多个固定气缸，所述固定气缸朝向真空腔室的方向设置，当所述本体封闭所述开口时，所述固定气缸的端部抵触在所述本体上，将所述本体压紧在真空腔室的外壁上；所述本体底部连接有导向装置，所述导向装置分别于所述本体和真空腔室连接，位于所述开口下方的位置处。本发明具有结构简单、拆装便捷、连接稳固以及状态切换效率高的优点，有效地解决了现有的真空镀膜设备的真空腔室和门体结构的连接结构需要手动安装和拆卸复杂，导致真空腔室的开启和密闭过程繁琐，费时费力的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 空腔 结构 | ||
【主权项】：
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