[发明专利]铝铜旋转靶的制备方法有效
| 申请号： | 202011583664.7 | 申请日： | 2020-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN112795912B | 公开（公告）日： | 2022-07-01 |
| 发明（设计）人： | 文崇斌;朱刘;童培云;余芳 | 申请（专利权）人： | 先导薄膜材料（广东）有限公司 |
| 主分类号： | C23C24/04 | 分类号： | C23C24/04;C22C21/12;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) 11387 | 代理人： | 张向琨 |
| 地址： | 511517 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： |
本公开提供了一种铝铜旋转靶的制备方法，其包括：将D |
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| 搜索关键词： | 旋转 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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