[发明专利]一种周期单脉冲控制单晶炉软轴提拉系统非周期摆动方法有效
| 申请号： | 202011586245.9 | 申请日： | 2020-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN112813491B | 公开（公告）日： | 2021-11-16 |
| 发明（设计）人： | 任海鹏;周子璇;李洁 | 申请（专利权）人： | 西安理工大学 |
| 主分类号： | C30B15/20 | 分类号： | C30B15/20;C30B29/06 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人： | 戴媛 |
| 地址： | 710048 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种周期单脉冲控制单晶炉软轴提拉系统非周期摆动方法，步骤包括：步骤1、构建晶体生长软轴提拉系统的动力学模型；步骤2、构建周期单脉冲控制器；外部唯一可以操作的变量是晶转速度Ω，选择脉冲控制能够减少对平均转速的影响，也就是减小对工艺参数的影响；步骤3、确定周期单脉冲控制器的参数选择范围。本发明的方法，可以抑制软轴系统在晶体生长中出现的非周期运动，使摆动处于周期状态；无需状态反馈，控制器设置简单，控制间歇加入，对转速扰动小，控制器能效高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 周期 脉冲 控制 单晶炉软轴提拉 系统 摆动 方法 | ||
【主权项】：
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