[发明专利]一种用于液氮冷却多层膜的热疲劳测试的试验装置有效
| 申请号： | 202011587073.7 | 申请日： | 2020-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN112763531B | 公开（公告）日： | 2022-09-27 |
| 发明（设计）人： | 梁柯林;徐中民;秦宏亮;何健 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海应用物理研究所 |
| 主分类号： | G01N25/00 | 分类号： | G01N25/00 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 邓琪;熊俊杰 |
| 地址： | 201800 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于液氮冷却多层膜的热疲劳测试的试验装置，包括真空室，其内设有冷却块和精密运动滑台，所述精密运动滑台上设有热沉和用于固定多层膜的夹持器，所述冷却块和热沉为可分离触接，所述热沉与夹持器之间设有传热导线，所述夹持器远离所述热沉的一面上设置有电加热片；电子枪，设置于真空室外，其枪管伸入所述真空室内并与所述真空室固定连接；液氮循环主机，与所述冷却块相连通而形成循环冷却系统；温控仪，与所述夹持器上的电加热片连接。本发明的试验装置通过循环试验模拟多层膜受热变形的低周疲劳过程，为有限元分析结果提供试验验证条件，对多层膜光学元件液氮冷却热疲劳研究有重要意义。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 液氮 冷却 多层 疲劳 测试 试验装置 | ||
【主权项】：
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