[发明专利]一种化学气相渗透工艺及装置在审
申请号: | 202011587862.0 | 申请日: | 2020-12-29 |
公开(公告)号: | CN112661525A | 公开(公告)日: | 2021-04-16 |
发明(设计)人: | 熊翔;张红波;王雅雷 | 申请(专利权)人: | 中南大学 |
主分类号: | C04B35/83 | 分类号: | C04B35/83;C04B35/622;C04B35/52 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 刘猛 |
地址: | 414000*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 本发明提供了一种化学气相渗透工艺及装置,化学气相渗透装置包括炉体(1),炉体内设置有堆料台和隔离筒(5),隔离筒的底端与堆料台的上表面密封连接,隔离筒的顶端设置有集气罩(9),集气罩与隔离筒密封连接,集气罩的顶部延伸至炉体与尾气管道(10)的连接处,集气罩开设有与尾气管道相对的出气口,堆料台的位于隔离筒内的区域内开设有通气孔(2),隔离筒内设置有用于堆放在工件(4)上的压料盒,压料盒内装有多孔结构的废气吸附材料(8),压料盒开设有透气孔。采用本发明提供的化学气相渗透装置,可有效避免污染CVI炉的炉膛及避免堵塞尾气管道。 | ||
搜索关键词: | 一种 化学 渗透 工艺 装置 | ||
【主权项】:
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