[发明专利]一种化学气相渗透工艺及装置在审

专利信息
申请号: 202011587862.0 申请日: 2020-12-29
公开(公告)号: CN112661525A 公开(公告)日: 2021-04-16
发明(设计)人: 熊翔;张红波;王雅雷 申请(专利权)人: 中南大学
主分类号: C04B35/83 分类号: C04B35/83;C04B35/622;C04B35/52
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 刘猛
地址: 414000*** 国省代码: 湖南;43
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摘要: 发明提供了一种化学气相渗透工艺及装置,化学气相渗透装置包括炉体(1),炉体内设置有堆料台和隔离筒(5),隔离筒的底端与堆料台的上表面密封连接,隔离筒的顶端设置有集气罩(9),集气罩与隔离筒密封连接,集气罩的顶部延伸至炉体与尾气管道(10)的连接处,集气罩开设有与尾气管道相对的出气口,堆料台的位于隔离筒内的区域内开设有通气孔(2),隔离筒内设置有用于堆放在工件(4)上的压料盒,压料盒内装有多孔结构的废气吸附材料(8),压料盒开设有透气孔。采用本发明提供的化学气相渗透装置,可有效避免污染CVI炉的炉膛及避免堵塞尾气管道。
搜索关键词: 一种 化学 渗透 工艺 装置
【主权项】:
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