[发明专利]一种自动光学检测与晶圆测试一体机在审
| 申请号： | 202011589862.4 | 申请日： | 2020-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN112833943A | 公开（公告）日： | 2021-05-25 |
| 发明（设计）人： | 虞君新 | 申请（专利权）人： | 无锡圆方半导体测试有限公司 |
| 主分类号： | G01D21/02 | 分类号： | G01D21/02 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 214192 江苏省无锡市锡山区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种自动光学检测与晶圆测试一体机，包括自动光学检测设备、第一GPIB通讯接口、GPIB通讯线、第二GPIB通讯接口、探针台以及测试机；所述自动光学检测设备包括结构光扫描仪；所述第一GPIB通讯接口设置在所述结构光扫描仪上，所述第二GPIB通讯接口设置在探针台上，所述第一GPIB通讯接口与所述第二GPIB通讯接口通过所述GPIB通讯线连接，所述探针台与所述测试机连接。本发明通过将自动光学检测设备与探针台、测试机的有效结合，测试机读取每个芯片坐标值，通过和自动光学检测设备的数据库比对筛选，确保无外观不良芯片混入测试良品中，确保成品芯片的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自动 光学 检测 测试 一体机 | ||
【主权项】：
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