[发明专利]一种用于外延膜生长设备的基座水平调节装置

摘要

本发明公开了一种用于外延膜生长设备的基座水平调节装置，包括基座水平调节装置，基座水平调节装置由水平仪本体、空心金属球、电机固定杆、水平调节螺丝一、水平调节螺丝二、顶紧螺丝一和顶紧螺丝二组成，水平仪本体中部开设有安装口且外侧开设有两组螺纹导向槽，安装口与两组螺纹导向槽相连通，空心金属球活动设置于安装口内，空心金属球的中部垂直安装有对接槽口。本发明在于未改变基座水平仪大体结构的情况下，增加了顶紧螺丝一和空心圆球体，加装顶紧螺丝一，可以防止水平调节螺丝的滑动位移，造成基座的不稳定性，增加一个空心圆球体，套装在固定杆尾部，避免水平调节螺丝尾部与电机固定杆直接接触而产生磨损。