[发明专利]一种用于高腐蚀性蒸汽压监测的离子真空计在审
| 申请号： | 202011592328.9 | 申请日： | 2020-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN112629747A | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 罗明新;任宇航;王培双 | 申请（专利权）人： | 尚越光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01L21/32 | 分类号： | G01L21/32 |
| 代理公司： | 杭州知见专利代理有限公司 33295 | 代理人： | 张华 |
| 地址： | 311121 浙江省杭州市余杭区五*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于高腐蚀性蒸汽压监测的离子真空计，解决目前常规的热阴离子真空计无法用于高腐蚀性蒸气压的实时监测的问题。本装置包括热阴极电离规管和测量电路，其特征在于：所述热阴极电离规管包括螺旋状的栅极，螺旋状的栅极的内侧设置有沿栅极螺旋轴线方向延伸的收集极，栅极外侧的一方或多方设置有热阴极灯丝，热阴极灯丝在栅极外侧多方设置时、各热阴极灯丝环绕栅极均匀设置，所述热阴极电离规管的外侧绕设有电加热装置，电加热装置上设置有热电偶。本发明在真空腔达到较高真空度后的高温、高腐蚀环境下持续、稳定监测蒸气压；且在真空腔停止工作升压、降温的状态下，利用电加热装置避免硒蒸气沉积到热阴极电离规管表面。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 腐蚀性 蒸汽 监测 离子 真空计 | ||
【主权项】：
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