[发明专利]一种铬镍合金溅射靶材及其制备方法与应用在审
| 申请号： | 202011593891.8 | 申请日： | 2020-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN112853283A | 公开（公告）日： | 2021-05-28 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;李岢 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B22F3/02;B22F3/14;B22F5/00;C22C27/06;C23C14/14 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种铬镍合金溅射靶材及其制备方法与应用，所述制备方法包括以下步骤：(1)混合铬粉与镍粉，得到铬镍粉末；(2)装填并压实步骤(1)所得铬镍粉末，得到铬镍生坯；(3)将步骤(2)所得铬镍生坯进行850‑1200℃的真空热压烧结处理，得到铬镍坯料；(4)将步骤(3)所得铬镍坯料进行机加工，得到铬镍合金溅射靶材。本发明提供的制备方法提升了靶材产品的致密度与微观结构均匀性，消除了内部缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镍合金 溅射 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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