[发明专利]涂敷装置、涂敷方法、以及涂敷头管理系统在审
| 申请号： | 202011594238.3 | 申请日： | 2020-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN113102168A | 公开（公告）日： | 2021-07-13 |
| 发明（设计）人： | 白石崇;川隅幸宏;大平直树;村井敏信 | 申请（专利权）人： | 艾美柯技术株式会社 |
| 主分类号： | B05C5/00 | 分类号： | B05C5/00;B05C5/02;B05C11/00 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 李今子 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供涂敷装置、涂敷方法、以及涂敷头管理系统。适当地管理涂敷头的状态。涂敷装置(11)具备：保持台(21)，保持基板(70)；涂敷部(涂敷头部件(22))，向保持于保持台的基板涂敷涂敷材料；以及控制部(50)，进行控制使得通过使基板和涂敷部相对地移动来向基板的预定区域涂敷涂敷材料。在涂敷部装卸自如地安装有用于向基板涂敷涂敷材料的涂敷头(31)。涂敷头具有存储部(33)，该存储部(33)包括存储涂敷头的固有信息的第1存储区域、和存储涂敷头的来历信息的第2存储区域。控制部从第1存储区域读取固有信息，并且根据涂敷头的涂敷动作，将来历信息储存到第2存储区域。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 方法 以及 涂敷头 管理 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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