[发明专利]射频相变开关在审
| 申请号： | 202011595317.6 | 申请日： | 2020-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN112736048A | 公开（公告）日： | 2021-04-30 |
| 发明（设计）人： | 郭艳敏;房玉龙;尹甲运;李佳;王波;张志荣;芦伟立;高楠;王元刚;冯志红 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
| 主分类号： | H01L23/367 | 分类号： | H01L23/367;H01L23/373;H01L45/00 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人： | 秦敏华 |
| 地址： | 050051 *** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种射频相变开关，属于微波开关器件技术领域，自下至上依次包括：衬底、衬底隔离层、散热层、加热电阻、加热电阻隔离层、相变材料、钝化层、信号传输电路欧姆接触电极和加热控制电路欧姆接触电极，信号传输电路欧姆接触电极与相变材料相连，加热控制电路欧姆接触电极与加热电阻相连。本发明提供的射频相变开关，在衬底隔离层和加热电阻之间设置散热层，可以将加热电阻产生的热量从下方快速散去，提高开关速度，缩短开关时长，提高器件的灵敏性。 | ||
| 搜索关键词： | 射频 相变 开关 | ||
【主权项】：
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