[发明专利]基于纳米红外吸收层的红外探测器敏感元及其制备方法在审
| 申请号： | 202011596434.4 | 申请日： | 2020-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN113270538A | 公开（公告）日： | 2021-08-17 |
| 发明（设计）人： | 连紫薇;明安杰;赵永敏 | 申请（专利权）人： | 有研工程技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | H01L37/02 | 分类号： | H01L37/02;G01J5/34;B82Y30/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人： | 刘秀青 |
| 地址： | 101407 北京市怀*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种基于纳米红外吸收层的红外探测器敏感元及其制备方法。该红外探测器敏感元由上至下依次包括红外敏感吸收层、上电极层、上电极连接层、热释电薄层、下电极连接层、下电极层，其中，所述红外敏感吸收层为具有纳米团簇结构的纳米红外吸收层。其制备方法包括：采用直流磁控溅射或热蒸发镀膜技术在热释电体薄片上依次沉积上电极连接层、上电极层；然后在热释电晶体薄片反面，依次沉积下电极连接层、下电极层；将热释电晶体薄片粘接到衬底托上，利用旋涂、丝网印刷或喷涂方法将纳米红外吸收材料图形化，制备成红外敏感吸收层；利用机械划片机或激光划片技术，对阵列器件进行划片分割，得到单个红外探测器敏感元成品。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 纳米 红外 吸收 红外探测器 敏感 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于有研工程技术研究院有限公司，未经有研工程技术研究院有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011596434.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种基于区块链的数字身份管理装置
- 下一篇：与胃癌相关的基因及其应用
