[发明专利]一种含有天然植物提取物的晶圆切割液在审

专利信息
申请号: 202011598217.9 申请日: 2020-12-29
公开(公告)号: CN112662460A 公开(公告)日: 2021-04-16
发明(设计)人: 侯军;褚雨露 申请(专利权)人: 江苏奥首材料科技有限公司
主分类号: C10M173/02 分类号: C10M173/02;C10N30/12;C10N40/22
代理公司: 大连星海专利事务所有限公司 21208 代理人: 杨翠翠
地址: 116000 辽宁省大*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要: 一种含有天然植物提取物的晶圆切割液,属于光电子器件的表面精密加工领域。该切割液中含有天然植物提取物,它是一系列分子结构中具有杂环结构的化合物;杂环结构中具有一个或多个N原子或S原子,此外杂环结构中至少一个C上的H原子被‑NH2,‑NO2,‑CHO或‑COOH官能团取代,能够提高杂环结构中N或S原子的电子密度;使其更易于金属表面的电子结合成键,形成保护膜,抑制半导体晶圆表面的焊盘的电化学腐蚀。
搜索关键词: 一种 含有 天然 植物 提取物 切割
【主权项】:
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