[发明专利]一种浸没控制单元的洁净度检测系统及其洁净度检测方法在审
| 申请号： | 202011598538.9 | 申请日： | 2020-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN112782051A | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 徐文苹;赵美慧;何元杰;钮杭明;徐宁;付新 | 申请（专利权）人： | 浙江启尔机电技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N15/06 | 分类号： | G01N15/06 |
| 代理公司： | 杭州斯可睿专利事务所有限公司 33241 | 代理人： | 林君勇 |
| 地址： | 311305 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种浸没控制单元的洁净度检测系统及其洁净度检测方法，液体源连接浸没控制单元，向浸没控制单元提供液体；使液体从浸没控制单元内部流路流过并从浸没控制单元内部流路抽排；从浸没控制单元抽排的液体导入颗粒检测装置；检测流过浸没控制单元液体的颗粒物浓度。模拟浸没式光刻机中的应用场景，使液体流过浸没控制单元内部的流路后流入颗粒检测装置进行颗粒物含量的检测，确保浸没控制单元洁净度检测评估结果有效性，颗粒检测装置中设置的气液分离器，避免气泡对颗粒物检测的影响，提高对被测液体的颗粒物含量检测精度，提高浸没控制单元洁净度检测评估可靠性和有效性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 浸没 控制 单元 洁净 检测 系统 及其 方法 | ||
【主权项】：
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