[发明专利]一种膜片剥离装置有效
| 申请号： | 202011599313.5 | 申请日： | 2020-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN112743963B | 公开（公告）日： | 2023-02-28 |
| 发明（设计）人： | 杨志;马红雷;黄帅 | 申请（专利权）人： | 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所） |
| 主分类号： | B32B38/10 | 分类号： | B32B38/10;B32B38/00;B32B38/18 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 张鹏 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种膜片剥离装置，涉及叠压机技术领域。该装置包括剥离工作台、剥离机械手、和驱动控制机构；剥离机械手设置在剥离工作台的上方；驱动控制机构设置在剥离机械手的上方；驱动控制机构用于驱动剥离机械手朝向剥离工作台运动；剥离机械手包括搬运手对位机构、搬运手吸附台和吸附台升降机构，以及膜片切割机构；搬运手吸附台设置在吸附台升降机构的执行端；吸附台升降机构用于驱动搬运手吸附台做升降运动；搬运手对位机构设置在吸附台升降机构上；剥离工作台包括剥离台和设置在剥离台下方的X向运动机构；X向运动机构用于驱动剥离台做Y向的运动。本发明解决了现有技术膜片剥离成功率低的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 膜片 剥离 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所），未经北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011599313.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
