[发明专利]一种离心绑定ITO旋转靶材的方法有效
| 申请号： | 202011603040.7 | 申请日： | 2020-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN112831764B | 公开（公告）日： | 2023-04-28 |
| 发明（设计）人： | 郑保昌;史伟;卫义成;钟雪琴;欧阳光华;万如意 | 申请（专利权）人： | 湖南柯盛新材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 长沙鑫泽信知识产权代理事务所(普通合伙) 43247 | 代理人： | 刁飞 |
| 地址： | 410000 湖南省*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种离心绑定ITO旋转靶材的方法，属于ITO旋转靶材加工技术领域，该方法包括以下步骤：S1、预处理：对ITO靶管内壁和背管外表面进行金属化处理；S2、组装：将背管从电热管上方往下插入，以使背管插设在安装座顶面插槽内，并使安装座上的定位筒插设在背管内；将单节ITO靶管套在背管上，并使ITO靶管插设在安装座顶面插槽内，ITO靶管与背管之间设有间隙；S3、灌铟绑定：由下往上对单节ITO靶管进行逐步绑定。本发明通过转动离心，使得熔化后的铟将紧贴ITO靶管内壁，绑定率较好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离心 绑定 ito 旋转 方法 | ||
【主权项】：
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