[发明专利]基于透射电镜的位错三维定量表征方法及系统

摘要

本发明公开了一种基于透射电镜的位错三维定量表征方法及系统，首先通过透射电镜获取样品的位错多个不同角度的图像，根据获得的图像构建在预设坐标系下描述的、包含位错的几何信息的三维图像，然后获取透射电镜对样品成像时样品在预设坐标系的参考取向参量，并根据参考取向参量获得预设坐标系到样品的晶体坐标系的转换参量，进一步根据位错在预设坐标系下的三维图像以及转换参量，获得位错在样品的晶体坐标系下描述的三维图像。本发明通过基于关联晶体学分析实现样品坐标系和晶体坐标系之间的转换，能够实现在晶体坐标系中位错几何特征和晶体学特征的高精度定量集成表征。