[发明专利]碳基多层薄膜及其制备方法和应用有效
| 申请号： | 202011607986.0 | 申请日： | 2020-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN112853281B | 公开（公告）日： | 2022-04-26 |
| 发明（设计）人： | 林海天;李立升;代伟;胡致富;王启民 | 申请（专利权）人： | 东莞市华升真空镀膜科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/35;C23C14/02;C23C14/06;C23C14/14 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 王秉丽 |
| 地址： | 523835 广东省东莞市大岭*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种碳基多层薄膜，其特征在于，包括基体、过渡层和ta‑C层，所述过渡层包括金属Ta层、金属Ti层和TiC层，所述金属Ta层、金属Ti层、TiC层和ta‑C层依次层叠设置在所述基体上。本发明利用电弧结合偏压产生高能碳离子束轰击金属Ti表层，通过在Ti表面植入碳离子形成TiC层，使金属Ti层与ta‑C层具有很强的界面结合，能显著提高薄膜使用性能和寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 基多 薄膜 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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