[发明专利]一种具有单晶PMNT的声表面波谐振器及制造方法在审
| 申请号： | 202011608835.7 | 申请日： | 2020-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN112838838A | 公开（公告）日： | 2021-05-25 |
| 发明（设计）人： | 李红浪;许欣;李阳 | 申请（专利权）人： | 广东广纳芯科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 杨洁 |
| 地址： | 510700 广东省广州*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： |
本发明涉及具有单晶PMNT的声表面波谐振器及制造方法。该谐振器包括厚度为350‑500μm的衬底层、厚度为1‑1.6λ或3λ的高声速层、厚度为0.2λ的氧化层、单晶PMNT厚度为λ的压电薄膜；及厚度为180‑200nm的电极层。PMNT压电薄膜材料为(1‑x)Pb(Mg |
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| 搜索关键词： | 一种 具有 pmnt 表面波 谐振器 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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