[发明专利]检查样本的方法和其系统有效
| 申请号： | 202011609247.5 | 申请日： | 2020-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN113222884B | 公开（公告）日： | 2023-10-27 |
| 发明（设计）人： | 尤塔姆·索弗;肖尔·恩格勒;波阿斯·科恩;萨尔·沙比;阿米尔·巴尔;马塞洛·加布里埃尔 | 申请（专利权）人： | 应用材料以色列公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G06V10/762;G06V10/764;G06V10/82;G06N3/04;G06N3/08 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 以色列*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 提供了一种用于检查样本的系统、方法和计算机可读介质，所述方法包括：从检验工具接收的潜在缺陷群组中选择的审查子集获得关注缺陷(DOI)和错误报警(FA)，每个潜在缺陷与属性值相关联，所述属性值定义潜在缺陷在属性空间中的位置；产生所述群组的代表子集，包括根据潜在缺陷在属性空间中的分布来选择的潜在缺陷，并且将代表子集中的潜在缺陷指示为FA；和在使用提供DOI的属性值、代表子集的潜在缺陷、和其作为DOI或FA的相应指示的信息的数据训练分类器之后，将分类器应用于至少一些潜在缺陷以获得对样本中的预期DOI的数量的估计。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 样本 方法 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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