[发明专利]一种直拉法生产单晶中收尾阶段单晶收放趋势的判断方法在审
| 申请号： | 202011609839.7 | 申请日： | 2020-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN112831829A | 公开（公告）日： | 2021-05-25 |
| 发明（设计）人： | 张欢;连庆伟;李超;王雅楠;吴志强;崔彬;姜舰 | 申请（专利权）人： | 有研半导体材料有限公司;山东有研半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/28 | 分类号： | C30B15/28;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人： | 刘秀青 |
| 地址： | 101300 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种直拉硅单晶收尾阶段单晶收放趋势的判断方法，包括以下步骤：(1)按照所生产单晶直径的1‑1.3倍预算出收尾长度，结合勾股定理算出收尾的两个角度为63°和69°，根据两个角度分别计算不同长度段内的重量随长度变化斜率，绘制出理论重量随长度变化曲线图；(2)通过单晶炉客户端获得收尾部分任意位置A和重量B；通过单晶炉客户端获得收尾部分位置A下的位置C和重量D；计算位置A到位置C的重量随着长度的变化斜率α＝(D‑B)/(C‑A)；(3)将理论重量随长度变化曲线图划分成提高拉速区、拉速维持区、降低拉速区，将α放入理论重量随长度变化曲线图中，实时调节拉速。采用本发明能够及时有效的判断出单晶收放趋势，正确的调节拉速，提高单晶的完好率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 直拉法 生产 单晶中 收尾 阶段 单晶收放 趋势 判断 方法 | ||
【主权项】：
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