[发明专利]一种多通道荧光光纤温度变送器及测温方法有效
| 申请号： | 202011611445.5 | 申请日： | 2020-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN112629699B | 公开（公告）日： | 2023-06-06 |
| 发明（设计）人： | 张文松;邵飞;胡波 | 申请（专利权）人： | 西安和其光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01K11/32 | 分类号： | G01K11/32 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 董娜 |
| 地址： | 710119 陕西省西安市高新区新*** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种多通道荧光光纤温度变送器及测温方法，解决现有对等离子体刻蚀机静电吸盘的测温方式，存在测量误差大、精度低的问题。方法包括步骤：1)M个光源发生器进行第1次发光激发；2)关闭M个光源发生器，M个测温单元光传感器进行第i次激发光的信号采样，i＝1，数据处理单元对光传感器获得的采样值处理，获得M个第i次温度数据；3)M个光源发生器进行第i+1次发光激发；4)关闭M个光源发生器，M个测温单元的光传感器进行第i+1次激发光的信号采样，数据处理单元对光传感器获得的采样值处理，获得M个第i+1次温度数据；同时，数据处理单元对M个第i次温度数据进行滤波并输出；5)令i＝i+1，返回步骤3)，直至测温结束。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 通道 荧光 光纤 温度 变送器 测温 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西安和其光电科技股份有限公司，未经西安和其光电科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011611445.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：数据处理方法、装置、电子设备和可读存储介质
- 下一篇：一种水平极化天线及雷达
