[发明专利]一种双滤波横向剪切干涉仪及基于其的光谱成像方法有效

专利信息
申请号: 202011611470.3 申请日: 2020-12-30
公开(公告)号: CN112815830B 公开(公告)日: 2022-03-25
发明(设计)人: 王鹏冲;李思远;冯玉涛;张朋昌;陈莎莎;刘宏;杨莹;胡炳樑;卫翠玉 申请(专利权)人: 中国科学院西安光学精密机械研究所
主分类号: G01B9/02056 分类号: G01B9/02056
代理公司: 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 代理人: 汪海艳
地址: 710119 陕西省西*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明提供了一种双滤波横向剪切干涉仪及基于其的光谱成像方法,解决现有干涉仪由于机械移动部件移动引入的线性误差问题,干涉仪包括沿光路依次设置的前置光学准直系统、第一偏振器、第一声光可调谐滤波器、第二声光可调谐滤波器、第二偏振器、傅里叶变换成像物镜、光电探测器;前置光学准直系统置于光路最前端,光电探测器位于傅里叶变换成像物镜的像面上;被测远场目标的反射、辐射或者透射光经前置光学准直系统后被第一偏振器起偏形成线偏振光,然后依次在第一声光可调谐滤波器、第二声光可调谐滤波器内发生声光互作用,输出光经过第二偏振器后被傅里叶变换成像物镜聚焦于光电探测器的靶面上形成干涉条纹。
搜索关键词: 一种 滤波 横向 剪切 干涉仪 基于 光谱 成像 方法
【主权项】:
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