[发明专利]集成电路行业研磨废水三级过滤回用水工艺在审
| 申请号： | 202011612504.0 | 申请日： | 2020-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN112624428A | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 夏志先;张金山;赵九娟 | 申请（专利权）人： | 上海丰信环保科技有限公司 |
| 主分类号： | C02F9/04 | 分类号： | C02F9/04;C02F103/34 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人： | 肖爱华 |
| 地址： | 200000 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： |
本发明提供一种涉及集成电路行业研磨废水三级过滤回用水工艺。该三级过滤回用水工艺由斜管沉淀、超滤和纳滤等工艺流程组成。该用水技术的特征在于：该回用水技术可去除95％以上的SiO |
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| 搜索关键词： | 集成电路 行业 研磨 废水 三级 过滤 水工 | ||
【主权项】：
暂无信息
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