[发明专利]在光学样本分析中改进的自动聚焦功能在审

专利信息
申请号: 202011613363.4 申请日: 2020-12-30
公开(公告)号: CN113064266A 公开(公告)日: 2021-07-02
发明(设计)人: 西蒙·普林斯;达尼洛·孔代洛;文森特·谢;克里萨达·彭西里;约翰·奥肖内西 申请(专利权)人: 伊鲁米那股份有限公司
主分类号: G02B21/24 分类号: G02B21/24;G02B5/04;G02B7/09;G02B21/06;G02B27/42
代理公司: 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 代理人: 韩辉峰;杨明钊
地址: 美国加利*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 本申请涉及在光学样本分析中改进的自动聚焦功能。一种方法包括:使用物镜和第一反射表面将第一自动聚焦光导向传感器,第一自动聚焦光从基板的第一表面反射;防止第二自动聚焦光到达传感器,第二自动聚焦光从基板的第二表面反射;以及使用物镜和第二反射表面将发射光导向传感器,该发射光源自基板处的样本。
搜索关键词: 光学 样本 分析 改进 自动 聚焦 功能
【主权项】:
暂无信息
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