[发明专利]在光学样本分析中改进的自动聚焦功能在审
申请号: | 202011613363.4 | 申请日: | 2020-12-30 |
公开(公告)号: | CN113064266A | 公开(公告)日: | 2021-07-02 |
发明(设计)人: | 西蒙·普林斯;达尼洛·孔代洛;文森特·谢;克里萨达·彭西里;约翰·奥肖内西 | 申请(专利权)人: | 伊鲁米那股份有限公司 |
主分类号: | G02B21/24 | 分类号: | G02B21/24;G02B5/04;G02B7/09;G02B21/06;G02B27/42 |
代理公司: | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人: | 韩辉峰;杨明钊 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本申请涉及在光学样本分析中改进的自动聚焦功能。一种方法包括:使用物镜和第一反射表面将第一自动聚焦光导向传感器,第一自动聚焦光从基板的第一表面反射;防止第二自动聚焦光到达传感器,第二自动聚焦光从基板的第二表面反射;以及使用物镜和第二反射表面将发射光导向传感器,该发射光源自基板处的样本。 | ||
搜索关键词: | 光学 样本 分析 改进 自动 聚焦 功能 | ||
【主权项】:
暂无信息
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