[发明专利]一种石墨烯超带宽光电探测器

摘要

本发明属于光电探测器技术领域，具体涉及一种石墨烯超带宽光电探测器，包括衬底层、绝缘隔离层、谐振腔波导结构和异质结，所述衬底层上设置有谐振腔波导结构，所述谐振腔波导结构上设置有绝缘隔离层，所述绝缘隔离层上设置有异质结。本发明将石墨烯与二氧化钛结合形成异质结，将石墨烯能探测红光到可见光的特性与二氧化钛材料能吸收紫光的材料特性相结合，使光电探测器的光谱响应包含红外到可见光甚至到紫光的区域，且石墨烯本身的高载流子迁移率等特性也可以提高探测器的光响应度和光增益。