[发明专利]一种柔性的石墨烯压力与温度复合传感器有效
| 申请号： | 202011614349.6 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN112857435B | 公开（公告）日： | 2022-05-17 |
| 发明（设计）人： | 王俊强;刘小飞;刘丽丽;李孟委 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G01D21/02 | 分类号： | G01D21/02;G01K7/16;G01L1/14;G01L1/26;A61B5/02;A61B5/01 |
| 代理公司： | 太原荣信德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 14119 | 代理人： | 杨凯;连慧敏 |
| 地址： | 030051 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明属于压力和温度检测技术领域，具体涉及一种柔性的石墨烯压力与温度复合传感器，包括石墨烯敏感层、第一柔性基板、第二柔性基板、第一类叉指形硬化图案层、第二类叉指形硬化图案层、第一复合电极、第二复合电极、互连组件，所述第一类叉指形硬化图案层设置在石墨烯敏感层的上方，所述第二类叉指形硬化图案层设置在石墨烯敏感层的下方，所述第一柔性基板设置在第一类叉指形硬化图案层的上方，所述第二柔性基板设置在第二类叉指形硬化图案层的下方。本发明的结构与已有基础结构相比，优化了设计、减少规格种类，有效地提高了结构的通用性、灵敏性、准确性和稳定性。本发明用于压力和温度的检测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 石墨 压力 温度 复合 传感器 | ||
【主权项】：
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