[发明专利]多通道恒温装置及其控制方法在审
| 申请号： | 202011616019.0 | 申请日： | 2020-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN112856852A | 公开（公告）日： | 2021-05-28 |
| 发明（设计）人： | 冯涛;宋朝阳;何文明;胡文达;刘紫阳;曹小康;芮守祯;董春辉;何茂栋 | 申请（专利权）人： | 北京京仪自动化装备技术有限公司 |
| 主分类号： | F25B21/02 | 分类号： | F25B21/02;F25B41/40;F25B39/00;F25B49/02;F25D17/02;F25D29/00 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 吕伟盼 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种多通道恒温装置及其控制方法，涉及半导体制冷技术领域。多通道恒温装置包括压缩制冷单元、循环液单元和载冷剂单元，循环液单元包括多个循环液通道，压缩制冷单元包括蒸发器，载冷剂单元包括载冷剂水箱及换热器，每一循环液通道包括循环液水箱及三通阀，载冷剂水箱的出口通过分支管路同时与多个换热器的载冷剂入口连通，多个换热器的载冷剂出口均经过蒸发器的载冷剂管路与载冷剂水箱的进口相连，每一换热器的循环液出口与循环液水箱相连通以冷却负载，其中，三通阀的入水口用于流入流过负载后的循环液，三通阀的第一出水口与换热器的循环液入口相连，三通阀的第二出水口与循环液水箱相连，提高各循环液通道的控温精度且能耗小。 | ||
| 搜索关键词： | 通道 恒温 装置 及其 控制 方法 | ||
【主权项】：
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