[发明专利]纳米薄膜静电疲劳测试方法在审
| 申请号： | 202011616285.3 | 申请日： | 2020-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN112763359A | 公开（公告）日： | 2021-05-07 |
| 发明（设计）人： | 刘科海;杨秀华;张超;杨方友;陈益;王恩哥 | 申请（专利权）人： | 松山湖材料实验室 |
| 主分类号： | G01N3/38 | 分类号： | G01N3/38;G01N3/02 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 唐菲 |
| 地址： | 523000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种纳米薄膜静电疲劳测试方法，属于纳米薄膜静电测试方法技术领域。纳米薄膜静电疲劳测试方法包括提供纳米薄膜；提供电极板；提供位移传感器；提供直流电压源；提供绝缘支撑件，绝缘支撑件具有检测通孔；将绝缘支撑件支撑于纳米薄膜和电极板之间，使电极板位于检测通孔的下方，纳米薄膜覆盖于检测通孔的上方且与电极板平行设置，将直流电压源的正极与纳米薄膜电连接，将直流电压源的负极与电极板电连接；启动直流电压源，通过位移传感器测量纳米薄膜向检测通孔内凹陷的位移量。该纳米膜静电疲劳测试方法，易操作、对纳米薄膜无损伤，且适用于现场实测。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米 薄膜 静电 疲劳 测试 方法 | ||
【主权项】：
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