[发明专利]一种微机械加速度计有效
| 申请号： | 202011616575.8 | 申请日： | 2020-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN112798818B | 公开（公告）日： | 2023-01-03 |
| 发明（设计）人： | 侯占强;吴学忠;肖定邦;蹇敦想;邝云斌 | 申请（专利权）人： | 中国人民解放军国防科技大学 |
| 主分类号： | G01P15/08 | 分类号： | G01P15/08;G01P15/125 |
| 代理公司： | 长沙国科天河知识产权代理有限公司 43225 | 代理人： | 闵亚红 |
| 地址： | 410073 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明属于微机械传感器技术领域，公开了一种微机械加速度计，包括敏感框架、基板、锚点、组合折叠梁和圆弧形梳齿；所述锚点包括第一锚点和第二锚点，所述敏感框架通过组合折叠梁与第一锚点相连；所述基板设置在敏感框架的内侧与敏感框架在同一平面内，且由第二锚点固定；所述圆弧形梳齿包括圆弧形可动梳齿和圆弧形固定梳齿，所述圆弧形可动梳齿与所述敏感框架固定连接，所述圆弧形固定梳齿与所述基板固定连接；所述微机械加速度计包括多个第一锚点，多个第一锚点将所述敏感框架和所述基板划分为多个子敏感区域，每个子敏感区域为一个子加速度计系统。本发明微机械加速度计具有灵敏度高、交叉耦合性低、器件空间利用率高、应用范围广等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微机 加速度计 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国人民解放军国防科技大学，未经中国人民解放军国防科技大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011616575.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：秸秆粉碎机的主轴轴承座台架
- 下一篇：一种秸秆粉碎机
