[发明专利]一种用于X射线与软X射线波段的滤片及其制备方法有效
| 申请号： | 202011620922.4 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN112820439B | 公开（公告）日： | 2023-01-06 |
| 发明（设计）人： | 陈溢祺;朱忆雪;张秀霞;金宇;朱东风;朱运平;金长利 | 申请（专利权）人： | 苏州闻道电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G21K1/10 | 分类号： | G21K1/10;C23C14/06;C23C14/12;C23C14/20;C23C14/24;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京化育知识产权代理有限公司 11833 | 代理人： | 涂琪顺 |
| 地址： | 215400 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： |
本发明提供了一种用于X射线与软X射线能段的滤片及其制备方法，属于光学元件技术领域。本发明中含有Sc层的滤片透射率在K吸收边0.276nm(E＝4500eV)和L吸收边2.48nm(E＝500eV)前后有非常明显的对比。由于B的吸收边在190eV，本发明提供的滤片在0.276nm～0.31nm(4000～4500eV)和2.48nm～6.53nm(190～500eV)范围内可以有效地对高次谐波进行抑制。本发明提供的滤片的制备方法，本发明先刻蚀硅片再镀膜，得到的滤片的品质高，无砂眼现象。实施例的数据表明，本发明制得的Sc/B |
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| 搜索关键词： | 一种 用于 射线 波段 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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