[发明专利]一种磁控溅射卷绕设备的镀膜室装置有效
| 申请号： | 202011622918.1 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN112853302B | 公开（公告）日： | 2023-08-25 |
| 发明（设计）人： | 余荣沾;王忠雨;袁世成;张欣;于小杰 | 申请（专利权）人： | 广东欣丰科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京华专卓海知识产权代理事务所(普通合伙) 11664 | 代理人： | 王一;张继鑫 |
| 地址： | 529399 广东省江门*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本公开的实施例提供了一种磁控溅射卷绕镀膜设备的镀膜室。所述镀膜室包括镀膜辊，用于支撑被供给的基材，以进行镀膜处理；输入导辊，其设置在所述镀膜辊的上游侧，基材经所述输入导辊供给至所述镀膜辊；输出导辊，其设置在所述镀膜辊的下游侧，镀膜处理后的基材经所述输出导辊输出；和，腔室，其用于容纳所述镀膜辊、输入导辊和输出导辊，并在其侧壁安装多个朝向所述镀膜辊的阴极，所述输入导辊和输出导辊均设置在所述镀膜辊的下侧。以此方式，可以改善阴极间的隔离效果并防止废渣污染靶材表面；改善磁控溅射卷绕镀膜设备使用维护的便捷性，缩短了维护操作时间，进而提省了生产效率；缩小了腔室容积，节省抽气和布气的时间和能源成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁控溅射 卷绕 设备 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
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