[发明专利]一种PERC单晶电池用硅片的退火方法及PERC单晶电池用硅片与应用

摘要

本发明提供了一种PERC单晶电池用硅片的退火方法及PERC单晶电池用硅片与应用，所述退火方法包括以下步骤：(1)送入硅片，同时通入氮气，维持第一时间段；(2)抽真空至第一绝对压力，同时升温至第一温度，维持第二时间段；(3)在第二绝对压力下通入氮气吹扫，保持在第二温度，维持第三时间段；(4)抽真空至第三绝对压力，保持在第三温度，维持第四时间段；(5)回压至第四绝对压力，保持在第四温度，维持第五时间段；(6)在第五温度下通入氮气和氧气，进行恒温氧化，维持第六时间段；(7)取出硅片，同时通入氮气，维持第七时间段。所述退火方法有效地在电池表面形成了高质量的钝化膜，同时最大程度地减少了硅片表面白点数量。