[发明专利]用于透明脆性材料的斜向切割补偿方法及系统有效
申请号: | 202011626223.0 | 申请日: | 2020-12-31 |
公开(公告)号: | CN112828474B | 公开(公告)日: | 2022-07-05 |
发明(设计)人: | 王雪辉;成迎虹;温彬;李曾卓 | 申请(专利权)人: | 武汉华工激光工程有限责任公司 |
主分类号: | B23K26/38 | 分类号: | B23K26/38;B23K26/402;B23K26/064 |
代理公司: | 北京集智东方知识产权代理有限公司 11578 | 代理人: | 吴倩;龚建蓉 |
地址: | 430223 湖北省武汉市*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明涉及一种用于透明脆性材料的斜向切割补偿方法及系统,其包括如下步骤:设置加工治具,并倾斜透明脆性材料,使透明脆性材料的下表面与治具斜面贴合;设置光路补偿单元,其用于补偿激光光束射入倾斜的透明脆性材料时带来的像差;激光光束依次经过光路补偿单元、光路补偿单元和透明脆性材料之间的空隙内的空气,折射聚焦于倾斜的透明脆性材料内部,并沿斜向切割轨迹完成对倾斜的透明脆性材料的斜向切割。本发明通过增加光路补偿单元补偿激光射入倾斜的透明脆性材料时带来的像差,使得聚焦于透明脆性材料内的激光能量能够被有效集中,保证在透明脆性材料内形成的焦深段足以沿斜向切割轨迹对倾斜的透明脆性材料进行斜向切割。 | ||
搜索关键词: | 用于 透明 脆性 材料 切割 补偿 方法 系统 | ||
【主权项】:
暂无信息
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