[发明专利]二维振镜在线平面精度补偿系统及其补偿方法有效
| 申请号： | 202011627069.9 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN112828454B | 公开（公告）日： | 2023-04-14 |
| 发明（设计）人： | 杨海青;朱跃明 | 申请（专利权）人： | 苏州菲镭泰克激光技术有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/064 | 分类号： | B23K26/064 |
| 代理公司： | 苏州佳捷天诚知识产权代理事务所(普通合伙) 32516 | 代理人： | 李阳 |
| 地址： | 215600 江苏省苏州市张*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种二维振镜在线平面精度补偿系统及其补偿方法，涉及振镜与精密平台进行拼接加工或混合联动加工领域，包括工作台，所述工作台的上端面上固定设置有升降机构，所述工作台的上端面上滑动连接有二维运动平台，所述升降机构上摆动连接有二维振镜，所述升降机构上位于二维振镜的下方固定连接有场镜，所述升降机构上位于二维振镜的一侧上设置有激光器和光纤激光器，所述激光器和光纤激光器之间设置有激光合束镜，所述二维运动平台的上端面的中心位置处固定连接有激光位置探测器，二维振镜在线平面精度补偿系统还包括工控电脑和运动控制器，本发明实现高效率，高精度的在线补偿，可实时或随时进行振镜精度监视及补偿。 | ||
| 搜索关键词： | 二维 在线 平面 精度 补偿 系统 及其 方法 | ||
【主权项】：
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