[发明专利]合金熔射膜以及成膜装置有效
| 申请号： | 202011627743.3 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN113265631B | 公开（公告）日： | 2023-05-02 |
| 发明（设计）人： | 门胁豊;吉田敏伸;赤濑仁荣 | 申请（专利权）人： | 日本爱发科泰克能株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/18;C23C14/16;C23C14/54 |
| 代理公司： | 成都超凡明远知识产权代理有限公司 51258 | 代理人： | 魏彦 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供一种合金熔射膜以及成膜装置，该合金熔射膜可进一步抑制从成膜处理用部件的剥离，该成膜装置具有该合金熔射膜。例如，提供一种熔射膜，用于成膜装置，该成膜装置具有：成膜源；基板支撑部，与上述成膜源相向；成膜处理用部件，包围上述成膜源与上述基板支撑部之间的成膜处理环境气体或者上述成膜源；以及真空容器，容纳上述成膜源、上述基板支撑部以及上述成膜处理用部件；朝向上述成膜处理环境气体设置有合金熔射膜，该合金熔射膜具有铝和第一元素，该第一元素为钪及铪中的至少一种元素。 | ||
| 搜索关键词： | 合金 熔射膜 以及 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于日本爱发科泰克能株式会社，未经日本爱发科泰克能株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011627743.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
