[发明专利]一种自动化激光直写装置在审
| 申请号： | 202011628694.5 | 申请日： | 2020-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN112631084A | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 徐海东;俞庆平;陈宏;郑国亮;赵强;陆宗健;李文 | 申请（专利权）人： | 安徽地势坤光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;B65G49/06 |
| 代理公司： | 合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115 | 代理人： | 高微微 |
| 地址： | 236158 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种自动化激光直写装置，涉及激光直写技术领域，包括进板输送机构、用于对平面基板进行气浮传送的气浮送板机构、用于对平面基板进行曝光的曝光机构和用于对已曝光的平面基板进行输出的出板输送机构；输送机构的输出端与气浮送板机构的输入端连接，气浮送板机构的输出端与曝光机构的曝光台面机构的输入端连接，曝光台面机构的输出端与出板输送机构的输入端连接，平面基板依次经过进板输送机构、气浮送板机构进入曝光机构的曝光台面机构，曝光后经出板输送机构输出；本激光直写设备对平面基板进行气浮输送，在基本不损伤平面基板的情况下，实现了平面基板的全自动上下板。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自动化 激光 装置 | ||
【主权项】：
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