[发明专利]一种半导体测试设备的监控系统及方法在审

专利信息
申请号: 202011628988.8 申请日: 2020-12-30
公开(公告)号: CN112799361A 公开(公告)日: 2021-05-14
发明(设计)人: 凌云;周辉 申请(专利权)人: 杭州加速科技有限公司
主分类号: G05B19/418 分类号: G05B19/418
代理公司: 深圳智趣知识产权代理事务所(普通合伙) 44486 代理人: 王策
地址: 311121 浙江省杭州市余杭区*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明提供了一种半导体测试设备的监控系统,包括:工控机/上位机,用于发送监控数据包至级联卡并接收从级联卡反馈的告警信息;级联卡,用于分发接收到的监控数据包至各个主控板及接收各个主控板反馈的告警信息;主控板,用于分发级联卡的监控数据包至各个业务板并接收各个业务板的告警信息;业务板,通过FPGA生产监控包模块监控各个模块的状态。本发明有益效果:解决现有技术中对半导体测试设备监控不方便、维护麻烦等问题,可随时获取设备的状态信息,实现对设备的实时监控。
搜索关键词: 一种 半导体 测试 设备 监控 系统 方法
【主权项】:
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