[发明专利]基于TiO2在审

专利信息
申请号: 202011629182.0 申请日: 2020-12-30
公开(公告)号: CN112635587A 公开(公告)日: 2021-04-09
发明(设计)人: 王顺利;陶江伟;张丽滢;徐金阳;郭道友;常裕鑫 申请(专利权)人: 杭州紫芯光电有限公司
主分类号: H01L31/0224 分类号: H01L31/0224;H01L31/032;H01L31/0352;H01L31/036;H01L31/0392;H01L31/109;H01L31/18;B82Y30/00;B82Y40/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 310018 浙江省杭州市经济*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明涉及一种基于TiO2/Ga2O3纳米相结的柔性日盲紫外探测器及其制备方法,探测器包括Ag上电极,柔性钛片下电极,位于所述Ag上电极和所述柔性钛片下电极之间的TiO2/α/β‑Ga2O3相结纳米柱阵列和石墨烯/Ag纳米线复合电极,其中,柔性钛片作为柔性钛片衬底;所述TiO2/α/β‑Ga2O3相结纳米柱阵列包括位于所述柔性钛片衬底上TiO2层,位于所述TiO2层上的α/β‑Ga2O3相结纳米柱阵列,所述α/β‑Ga2O3相结纳米柱阵列包括若干间隔设置的α/β‑Ga2O3相结纳米柱;所述石墨烯/Ag纳米线复合电极位于所述α/β‑Ga2O3相结纳米柱背离所述TiO2层一端,所述Ag上电极部分覆盖所述石墨烯/Ag纳米线复合电极。本发明的多异质结结构日盲紫外探测器,日盲特性稳定,具有优异的化学和热稳定性,有望在可穿戴、便捷式的紫外探测器领域广泛应用。
搜索关键词: 基于 tio base sub
【主权项】:
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