[发明专利]一种基于腔体互联的沉积方法和沉积设备

摘要

本发明公开了一种基于腔体互联的沉积设备，包括真空调配平台(1)、至少二个反应腔室组(2)、加载腔体(3)、至少一个热型原子层沉积室(4)、至少一个预清洗腔室(5)、至少一个热处理腔室(6)和调配管理器(7)；所述反应腔室组(2)、加载腔体(3)、热型原子层沉积室(4)预清洗腔室(5)和热处理腔室(6)以环绕所述真空调配平台(1)的方式布置；所述自动输送机器人(8)和所述调配管理器(7)数据通信连接，所述自动输送机器人(8)用于在所述反应腔室组(2)、加载腔体(3)、热型原子层沉积室(4)、预清洗腔室(5)和热处理腔室(6)之间调配传输晶圆基体。本发明的采用磁悬浮制程扫描传感系统，实现上下浮动，从而更好的扫描到全面反应腔室，更好的监视相应的反应腔室。