[发明专利]一种压电风速计及其制作方法在审

专利信息
申请号: 202011630529.3 申请日: 2020-12-31
公开(公告)号: CN112816733A 公开(公告)日: 2021-05-18
发明(设计)人: 焦继伟;刘京;费跃;陈思奇 申请(专利权)人: 上海芯物科技有限公司
主分类号: G01P5/00 分类号: G01P5/00;G01P1/00
代理公司: 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人: 孟金喆
地址: 201800 上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种压电风速计及其制作方法。其中,压电风速计包括衬底以及位于衬底一侧的至少一个悬臂梁结构,悬臂梁结构包括依次位于衬底一侧的第一电极层、压电层、第二电极层和应力匹配薄膜,悬臂梁结构向远离衬底的一侧弯曲。本发明提供的压电风速计及其制作方法,通过在衬底一侧设置至少一个悬臂梁结构,且悬臂梁结构包括依次位于衬底一侧的第一电极层、压电层、第二电极层和应力匹配薄膜,利用悬臂梁结构在制造过程中第一电极层、压电层、第二电极层及应力匹配薄膜残余应力的不同,使得悬臂梁结构向远离衬底的一侧翘曲一定角度,从而应用于风速的测量,该压电风速计具有精度高、结构简单、成本低的优点。
搜索关键词: 一种 压电 风速计 及其 制作方法
【主权项】:
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