[发明专利]一种压电风速计及其制作方法在审
申请号: | 202011630529.3 | 申请日: | 2020-12-31 |
公开(公告)号: | CN112816733A | 公开(公告)日: | 2021-05-18 |
发明(设计)人: | 焦继伟;刘京;费跃;陈思奇 | 申请(专利权)人: | 上海芯物科技有限公司 |
主分类号: | G01P5/00 | 分类号: | G01P5/00;G01P1/00 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 孟金喆 |
地址: | 201800 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种压电风速计及其制作方法。其中,压电风速计包括衬底以及位于衬底一侧的至少一个悬臂梁结构,悬臂梁结构包括依次位于衬底一侧的第一电极层、压电层、第二电极层和应力匹配薄膜,悬臂梁结构向远离衬底的一侧弯曲。本发明提供的压电风速计及其制作方法,通过在衬底一侧设置至少一个悬臂梁结构,且悬臂梁结构包括依次位于衬底一侧的第一电极层、压电层、第二电极层和应力匹配薄膜,利用悬臂梁结构在制造过程中第一电极层、压电层、第二电极层及应力匹配薄膜残余应力的不同,使得悬臂梁结构向远离衬底的一侧翘曲一定角度,从而应用于风速的测量,该压电风速计具有精度高、结构简单、成本低的优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 压电 风速计 及其 制作方法 | ||
【主权项】:
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