[发明专利]MEMS扫描镜及激光投影仪有效
| 申请号： | 202011631805.8 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN112748568B | 公开（公告）日： | 2023-09-12 |
| 发明（设计）人： | 林育菁;畠山庸平 | 申请（专利权）人： | 歌尔股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;G03B21/00 |
| 代理公司： | 北京正理专利代理有限公司 11257 | 代理人： | 李远思 |
| 地址： | 261031 山东省潍*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开一种MEMS扫描镜及激光投影仪。该MEMS扫描镜的一具体实施方式包括反射镜、角度传感器、驱动器和用作悬臂的致动器，所述致动器用于在所述驱动器的驱动下使所述反射镜绕第一旋转轴旋转，所述角度传感器用于感测反射镜绕所述第一旋转轴旋转的偏转角度并向所述控制单元输出信号，该MEMS扫描镜还包括控制单元，所述控制单元包括差分放大器，所述差分放大器的第一输入端连接所述角度传感器的输出端、第二输入端连接所述驱动器的驱动信号输出端、输出端连接所述致动器的驱动信号输入端。该实施方式可降低驱动的品质因数，改善对于驱动信号的跟踪性能。 | ||
| 搜索关键词： | mems 扫描 激光 投影仪 | ||
【主权项】：
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